2025-04-11 12:23:00 湘潭宏大真空申请一种等离子体发生器及磁控溅射镀膜机专利，可提高等离子体的能量密度均匀一致性

金融界2025年4月11日消息，国家知识产权局信息显示，湘潭宏大真空技术股份有限公司申请一项名为“一种等离子体发生器及磁控溅射镀膜机”的专利，公开号 CN 119789292 A，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本发明公开了一种等离子体发生器及磁控溅射镀膜机，等离子体发生器包括具有等离子体

等离子体 磁控溅射 湘潭 进气口 发生 股份有限公司 宏大 发生器